Микроскопы для микроэлектроники
Сегодня нельзя представить ни одной сферы жизни, в которой не использовались бы электронные приборы. Это и медицина, и обучение, и наука, и производство, и бытовое применение. В то же время все электронные компоненты построены на основе микросхем. Качество и востребованность таких приборов зависят от качества микросхем, а также, зачастую, от размера прибора.
Разделом, который отвечает за качество электронных компонентов, является микроэлектроника. С развитием микроэлектроники повышаются требования к производительности устройств. При этом размеры самих устройств остаются такими же или уменьшаются. Следовательно, уменьшаются сами компоненты электронных устройств. Отсюда появляются проблемы межэлементного взаимодействия — паразитные явления. Одна из основных задач проектировщика электронных компонентов — компенсировать или минимизировать эффект паразитных утечек.
Для решения этой задачи, а также для разработки новых компонентов и контроля качества готовой продукции используют инспекционные микроскопы (рис. 1).
Рисунок 1.
Такие микроскопы используются для контроля качества интегральных схем в полупроводниковой промышленности и микроэлектронике.
Микроскопы для инспекции электронных компонентов оснащаются источниками как проходящего, так и отражённого света. На смену галогеновым лампам всё чаще приходят долговечные светодиоды (LED).
В микроскопах для микроэлектроники применяются следующие методы контрастирования:
- Светлое поле.
- Тёмное поле.
- Дифференциально-Интерференционный Контраст (ДИК).
- Простая поляризация.
- Эпи-флуоресценция.
Современные инспекционные микроскопы для микроэлектроники оснащаются средствами автоматизации (моторизованные компоненты), качественными цифровыми камерами для удобства просмотра процесса работы на широкоформатных LCD-дисплеях, а также функциональным программным обеспечением.
Основным применением микроскопов для микроэлектроники являются:
- определение качества пайки микроэлементов;
- определение качества и поиск возможных дефектов дорожек, контактов;
- проведение различных измерений (толщина дорожек, расстояние между дорожками, определение коэффициента металлизации, радиусы, периметры, площади, углы, расстояние между сериями параллельных линий);
- пайка резисторов, конденсаторов, катушек индуктивности, диодов, транзисторов, изоляторов и проводников.
На сегодняшний день выбору пользователей доступны как модели ведущих мировых производителей на рынке микроскопии (ARSTEK, Olympus, Zeiss, Leica, Nikon), так и микроскопы их коллег из Китая бесчисленного множества брендов. Причём реальность складывается таким образом, что китайские модели инспекционных микроскопов уже мало чем уступают микроскопам перечисленных выше «топовых» брендов. А в области цифровой визуализации процесса работы (цифровые камеры) Китай и вовсе уже давно обогнал всю планету.
Компания АРСТЕК предлагает на выбор несколько моделей микроскопов собственного бренда ARSTEK, разработанных специально для микроэлектроники:
| Модель | Описание | Методы контрастирования | Предметный столик |
| ARSTEK X4 |
экономичная модель базового уровня |
светлое поле поляризация ДИК косое освещение |
4” механический диапазон перемещения: 105 x 105 мм |
| ARSTEK X6 | продвинутая модель с большим столиком |
светлое поле тёмное поле поляризация ДИК |
6” механический диапазон перемещения для отраженного: 158 х 158 мм диапазон перемещения для проходящего: 100 х 100 мм |
| ARSTEK X10 | продвинутая модель с большим столиком и частичной моторизацией |
светлое поле тёмное поле поляризация ДИК флуоресценция |
14” x 12” механический диапазон перемещения: 356 мм x 305 мм |
| ARSTEK X12 | топовая модель с большим моторизованным столиком и моторизацией основных функций |
светлое поле тёмное поле поляризация ДИК |
14” x 12” механический диапазон перемещения: 356 x 305 мм |
|
12” автоматический диапазон перемещения: 306 мм х 306 мм |
Приглашаем Вас ознакомиться с микроскопами подробнее (нажимайте стрелочки влево и вправо для прокрутки товаров):
